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光刻夢(mèng)的燦爛 一一聞光電所研制出世界首臺分辨率最高紫外超分辨光刻設備感懷并致敬

成都山地所原黨委書(shū)記 關(guān)曉崗    

 

光刻世界如密殿,

四壁茫茫處處玄;

  多重曝光追"納米“,

 獨辟蹊徑?jīng)_極限。

 微細天地連風(fēng)云,

 牧馬山中聚杰賢;

 代代傳承光刻夢(mèng),

 臥薪嘗膽國為天!

                                                                                            2018.11.29